電子級水的技術指標

指標級別

EW--I

EW--II

EW--III

EW--VI

電阻率MΩ•cm@25℃

18以上（95%時間）不低于17

15（95%時間）不低于13

12.0

0.5

全硅，最大值μg/L

2

10

50

1 000

〉1μm微粒數，最大值，個/ml

0.1

5

10

500

細菌個數，最大值，個/ml

0.01

0.1

10

100

銅，最大值，μg/L

0.2

1

2

500

鋅，最大值，μg/L

0.2

1

5

500

鎳, 最大值，μg/L

0.1

1

2

500

鈉, 最大值，μg/L

0.5

2

5

1 000

鉀, 最大值，μg/L

0.5

2

5

500

氯, 最大值，μg/L

1

1

10

1 000

硝酸根，最大值，μg/L

1

1

5

500

磷酸根, 最大值，μg/L

1

1

5

500

硫酸根，最大值，μg/L

1

1

5

500

總有機碳，最大值，μg/L

20

100

200

1 000